产品单价 |
100.00元/个 |
起订量 |
1个 |
供货总量 |
1000 个 |
发货期限 |
自买家付款之日起10天内发货 |
材质 |
TA1TA2TC4TA9TA10 |
规格 |
来图或按客户要求制作 |
包装 |
箱装 |
产地 |
宝鸡 |
陕西特佰鑫金属科技有限公司(简称:特佰鑫金属)位于有“中国钛谷”之称的陕西-宝鸡。.从事钛、镍、锆、钽及其合金材料,复合材料的研发、生产、加工销售。尤其在钛及钛合金、钛复合材,镍及镍合金金属加工领域,现已成为国内生产商之一。生产:钛及钛合金,钛板,钛复合板,钛合金板,钛包铜,钛棒,钛管,钛丝,钛环,钛饼,钛箔,钛靶材,钛锻件,钛盘管,钛法兰,钛标准件,钛加工件,钛管道,钛坩埚,钛补偿器,钛阳极,钛网篮,钛泵,钛搅拌器等。 镍及镍合金,镍板,镍管,镍棒,镍丝,镍箔,镍法兰,镍靶材,镍坩埚,镍加工件等。 锆及锆合金,锆板,锆管,锆棒,锆丝,锆箔,锆靶材,锆法兰,锆盘管,锆锻件,锆坩埚,锆加工件等。 设备类:钛/锆反应釜、钛钢复合反应釜、钛内盘管加热反应釜、钛/镍/锆储罐、钛钢复合储罐、钛/钛复合塔器、镍钢复合反应锅。 换热器:钛/锆列管式换热器、钛板式换热器、钛蒸/锆发器、钛/锆冷凝器、钛/锆冷却器、镍换热器、镍盘管、镍冷凝器、镍蒸发器、镍冷却器、钛/钛复合/锆再沸器等非标化工设备。 复合材:钛钢复合板、钛铜复合棒、钛铜复合板等。 加工销售:钨、钼、钽、铌等稀贵材料的管、板、棒、丝及制品,以及锆、钽、铌等材料的复合材料。欢迎各位新老客户来电咨询,采购!!!
靶材的主要性能要求: 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。
例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.9的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度 为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。
靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。
靶材密度越高,薄膜的性能越好。
此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。
密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。
对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
陕西特佰鑫金属科技有限公司 | |||
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